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欧文

欧文

集成电路先导工艺技术 MEMS传感器技术 集成电路芯片制造工艺技术
个人简介

1989-09-1992-07,中国科技大学研究生院(北京),硕士;

1985-09-1989-07,浙江大学,学士。

研究领域

集成电路先导工艺技术、MEMS传感器技术。

成果及荣誉

1.红外焦平面阵列器件及其制作方法,2010,第1作者,专利号:201010267982.8;
2.非制冷红外探测器件及其制作方法,2010,第1作者,专利号:201010262233.0;
3.非平面结构的非挥发性存储器单元及制作方法,2003,第1作者,专利号:01139666.0;
4.嵌入式快闪存储器中隧穿氧化层的制备方法,2005,第1作者,专利号:02120379.2;
5.红外焦平面阵列器件及其制作方法,2010,第1作者,专利号:201010267967.8;
6.热电堆红外探测传感器及其制作方法,2010,第1作者,专利号:201010267981.8;
7.微透镜阵列及其制作方法,2011,第2作者,专利号:201110131361.6;
8.一种双面微透镜阵列及其制造方法,2011,第2作者,专利号:201110126266.7。

承担科研项目

1.复合功能二维像素阵列探测器,参与,国家级,2016-06-2020-12。

热门文献

1.基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试平台,红外与激光工程,2014,第11作者;
2.Fabrication of polyimide sacrificial layers with inclined sidewalls based on RIE technology,AIP Advances,2014,第11作者;
3.Nanopillar-forest based surface-enhanced Raman scattering substrates,SCIENCE CHINA Information Sciences,2014,第11作者;
4.Design of thermopile-based infrared detectors with suspended absorber-thermopile bi-layers,CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS,2014,第11作者;
5.SOI二极管型非制冷红外焦平面结构的改进设计,红外与毫米波学报,2014,第2作者;
6.一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器 ,传感技术学报,2014,第11作者;
7.Improved structure design for SOI diode uncooled infrared focal plane arrays,Journal of Infrared And Millimeter Waves,2013,第2作者;
8.Design and simulation of a high fill-factor SOI diode uncooled infrared focal plane arrays,?J. Micromech. Microeng,2013,第2作者;
9.Fabrication of Nanopillar Forests with High Infrared Absorptance Based on Rough Poly-Si and Spacer Technology,Journal of Micromechanics and Microengineering,2013,第3作者;
10.MEMS无源无线压力传感器研究,仪表技术与传感器,2013,第2作者;
11.Design and Fabrication of Novel Microlens-micromirrors Array for Infrared Focal Plane Array,MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS,2012,第2作者;
12.Fabrication of a 100percent fill factor silicon microlens array,半导体学报,2012,第2作者;
13.一种与CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器,红外技术,2012,第2作者;
14.Kinetics investigation of RIE lag phenomenon by GaAs ICP etching,China Semiconductor Technology International Conference 2012,2012,第 4 作者;
15.基于黑硅为吸收层的热电堆红外探测器,仪表技术与传感器,2012,第3作者;
16.A design of thermopile infrared detector based on black silicon as absorption,传感技术学报,2012,第3作者;
17.CMOS 兼容的微机械热电堆红外探测器的设计,红外技术,2012,第3作者;
18. “CF4预处理后热生长薄栅氧漏电流及势垒研究“,半导体学报,2004,第2作者;
19.闪速存储器的单管多位技术,微电子学,2004,第2作者;
20.SCDI Flash Memory Device II:Experiments andCharacteristics,半导体学报,2004,第1作者;
21.SCDI Flash Memory Device I:Simulation and Analysis,半导体学报,2004,第1作者;
22.Flash 器件中氧化硅/氮化硅/氧化硅的特性,半导体学报,2003,第1作者;
23.Novel nonplanar Flash Memory Device,半导体学报,2002,第1作者。

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